纳米光刻高级研究中心(ARCNL)的研究人员已经开发出一种使用光感应高频声波的方法,该方法又可以用来揭示半导体等非常小的结构中不透明材料的内部结构。

许多不透明的材料会传输声波,从而可以进行回波镜检查,从而使高频声波穿过材料以可视化’在里面。但是,此方法受到限制,因为可视化效果越好,所需的频率就越高。

ARCNL研究人员应用了来自激光的短脉冲,以足够高的频率感应声波,从而实现了纳米结构的可视化。

这些发现可以在半导体制造行业中找到应用,例如晶圆对准,该行业使用光栅线来确保晶圆上纳米结构的正确对准分层。

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